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              激光干涉儀:機床導軌平行度垂直度精密測量工具

              更新時間:2023-11-08      點擊次數:309

              激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進行測量的精密儀器。廣泛應用于光學、機械、電子等各種領域的測量。其中,平行度和垂直度的測量是激光干涉儀的重要應用之一。


              傳統的測量方法通常采用機械測量或光學測量,但這些方法存在著精度低、誤差大、易受環境影響等缺點。而激光干涉儀具有高精度、高靈敏度、非接觸性等優點,能夠實現平行度和垂直度的高精度測量。

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              激光干涉儀平行度測量原理

              平行度測量是在直線度測量的基礎上而擴展的應用。平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成,參見下面平行度測量光路原理構件圖,其中直線度反射鏡作為共同的參考基準,在測量過程中保持原位,且不進行調整。由第1運動軸的斜度θ1中減去第2運動軸的斜度θ2,即可得出平行度=θ1-θ2。

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              平行度測量配置及應用

              平行度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組(或長直線度鏡組)、SJ6000靜態測量軟件等組件構成。Z軸的平行度測量需增添可調轉向鏡。

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              激光干涉儀垂直度測量原理

              垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成,詳見下面垂直度測量光路原理構件圖,其中直線度反射鏡作為共同的參考基準,在測量過程中保持原位,且不進行調整;光學角尺用于至少在其中一次直線度測量中,允許調整激光束與軸的準直。垂直度誤差=光學直角尺誤差-斜度θ1-斜度θ2。

              垂直度測量配置及應用

              垂直度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組(或長直線度鏡組)、垂直度鏡組(含光學直角尺)、SJ6000靜態測量軟件等組件構成。

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              激光干涉儀測量優點

              1. 高精度

              SJ6000激光干涉儀采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出,精度可以達到納米級別,可以準確地測量出平行度和垂直度的微小變化。

              2. 非接觸性

              SJ6000激光干涉儀不需要接觸被測物體,不會對被測物體產生影響,也不會因為磨損而導致誤差。

              3. 快速穩定

              SJ6000激光干涉儀采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,可實現高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率,測量速度非???;而且干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,干涉光路穩定可靠,保證了長時間的穩定測量。

              4. 適用范圍廣

              激光干涉儀可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。

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              總之,激光干涉儀是一種強大的測量工具,可以廣泛應用于各種領域的平行度和垂直度測量工作。它的出現為各種精密制造和科學實驗提供了強有力的技術支持。

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