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              顯微測量|臺階儀二維超精密測量微觀形貌

              更新時間:2024-02-18      點擊次數:345

              臺階儀通過掃描被測樣品表面,獲取高分辨率的表面形貌數據,能夠揭示微觀結構的特征和性能。

              了解工作原理和性能特點

              臺階儀利用掃描探針在樣品表面上進行微觀測量,通過探測探針和樣品表面之間的相互作用力,獲取表面形貌信息。具體而言,掃描探針通過細微的力變化,測量樣品表面的起伏程度以及凹凸部分的高度差。然后通過數據處理,形成高分辨率的圖像。

              能夠實現納米級別的測量,對微觀結構的細節進行觀測和分析,揭示出表面的微觀特征;還具備高速掃描的能力,實現快速獲取樣品的形貌數據。

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              功能和作用介紹

              作為一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,臺階儀可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。測量參數:

              (1)臺階高度:能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度;

              (2)粗糙度與波紋度:可獲取粗糙度與波紋度相關的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項參數;

              (3)翹曲與形狀:能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲。


              臺階儀的應用

              臺階儀具有廣泛的適用范圍,在科學研究、材料表征、納米技術、半導體制造等領域都有應用。如在半導體制造中,臺階儀可以用于檢測半導體材料表面的缺陷和形貌,為半導體器件的開發和生產提供可靠的數據參考。

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              測量晶圓表面粗糙度


              臺階儀具備出色的精確性和穩定性,而且樣品適應面廣,對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求。在材料科學、制造業、科研等領域都有著重要的應用價值。相信隨著科技的不斷發展,臺階儀將會在測量領域發揮更加重要的作用。


              臺階儀優勢總結

              1、高精度的測量能力

              臺階儀在微觀表面形貌的測量中非常準確,能夠滿足高精度測量的需求。CP系列臺階儀具有亞埃級分辨率,結合單拱龍門式設計降低環境噪聲干擾,確保儀器具有良好的測量精度及重復性。其500萬像素高分辨率彩色攝像機,即時進行高精度定位測量。

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              采用具有超微力可調和亞納米級分辨率的臺階儀測量ITO膜厚,高精度測量同時不損傷樣件本身。

              2、快速測量的能力

              臺階儀配備精密XY位移臺、360°電動旋轉平臺和電動升降Z軸,可對樣品的XYZ、角度等空間姿態進行調節,提高測量精度及效率??焖佾@取表面的高程數據,將測量結果以圖形的形式展現出來。這提高了測量效率,減少了測量時間。

              3、廣泛的適用范圍

              臺階儀可以對各種不同材料的表面進行測量,包括金屬、塑料、玻璃等材料。不管是平坦的表面還是曲面,臺階儀都能夠輕松應對,確保測量結果的準確性和可靠性。


              典型應用

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