<sub id="3rbdl"></sub>

    <delect id="3rbdl"><track id="3rbdl"></track></delect>

          <cite id="3rbdl"></cite>

              您好!歡迎訪問深圳市中圖儀器股份有限公司網站!
              全國服務咨詢熱線:

              18928463988

              Products產品中心
              首頁 > 產品中心 > 半導體專業檢測設備 > 晶圓形貌測量系統 > WD4000半導體晶圓厚度測量系統

              半導體晶圓厚度測量系統

              簡要描述:WD4000半導體晶圓厚度測量系統采用白光光譜共焦多傳感器和白光干涉顯微測量雙向掃描技術,完成非接觸式掃描并建立表面3D層析圖像,實現Wafer厚度、翹曲度、平面度、線粗糙度、總體厚度變化(TTV)及分析反映表面質量的2D、3D參數。

              • 更新時間:2024-01-02
              • 產品型號:WD4000
              • 廠商性質:生產廠家
              • 訪  問  量:181

              相關文章

              Related Articles

              詳細介紹

              品牌CHOTEST/中圖儀器價格區間面議
              應用領域能源,電子,綜合

              中圖儀器WD4000半導體晶圓厚度測量系統采用高精度光譜共焦傳感技術、光干涉雙向掃描技術,完成非接觸式掃描并建立3D Mapping圖,實現晶圓厚度、TTV、LTV、Bow、Warp、TIR、SORI、等反應表面形貌的參數。它通過非接觸測量,將晶圓的三維形貌進行重建,強大的測量分析軟件穩定計算晶圓厚度,TTV,BOW、WARP、在高效測量測同時有效防止晶圓產生劃痕缺陷。

              638345151322643754606.jpg

              測量功能

              1、厚度測量模塊:厚度、TTV(總體厚度變化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等;

              2、顯微形貌測量模塊:粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、面積、體積等。

              3、提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能。其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區域和提取剖面等功能。

              4、提供幾何輪廓分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等;粗糙度分析包括國際標準ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數;結構分析包括孔洞體積和波谷。


              產品優勢

              1、非接觸厚度、三維維納形貌一體測量

              集成厚度測量模組和三維形貌、粗糙度測量模組,使用一臺機器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三維形貌的測量。

              2、高精度厚度測量技術

              (1)采用高分辨率光譜共焦對射技術對Wafer進行高效掃描。

              (2)搭配多自由度的靜電放電涂層真空吸盤,晶圓規格最大可支持至12寸。

              (3)采用Mapping跟隨技術,可編程包含多點、線、面的自動測量。

              3、高精度三維形貌測量技術

              (1)采用光學白光干涉技術、精密Z向掃描模塊和高精度3D重建算法,Z向分辨率高可到0.1nm;

              (2)隔振設計降低地面振動和空氣聲波振動噪聲,獲得高測量重復性。

              (3)機器視覺技術檢測圖像Mark點,虛擬夾具擺正樣品,可對多點形貌進行自動化連續測量。

              4、大行程高速龍門結構平臺

              (1)大行程龍門結構(400x400x75mm),移動速度500mm/s。

              (2)高精度花崗巖基座和橫梁,整體結構穩定、可靠。

              (3)關鍵運動機構采用高精度直線導軌導引、AC伺服直驅電機驅動,搭配分辨率0.1μm的光柵系統,保證設備的高精度、高效率。

              5、操作簡單、輕松無憂

              (1)集成XYZ三個方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前準工作。

              (2)具備雙重防撞設計,避免誤操作導致的物鏡與待測物因碰撞而發生的損壞情況。

              (3)具備電動物鏡切換功能,讓觀察變得快速和簡單。

              638339075562264310426.jpg

              WD4000半導體晶圓厚度測量系統采用白光光譜共焦多傳感器和白光干涉顯微測量雙向掃描技術,完成非接觸式掃描并建立表面3D層析圖像,實現Wafer厚度、翹曲度、平面度、線粗糙度、總體厚度變化(TTV)及分析反映表面質量的2D、3D參數。


              應用場景

              1、無圖晶圓厚度、翹曲度的測量

              638348586581012147569.jpg

              通過非接觸測量,將晶圓上下面的三維形貌進行重建,強大的測量分析軟件穩定計算晶圓厚度、粗糙度、總體厚度變化(TTV),有效保護膜或圖案的晶片的完整性。


              2、無圖晶圓粗糙度測量

              638348586721452538746.jpg

              Wafer減薄工序中粗磨和細磨后的硅片表面3D圖像,用表面粗糙度Sa數值大小及多次測量數值的穩定性來反饋加工質量。在生產車間強噪聲環境中測量的減薄硅片,細磨硅片粗糙度集中在5nm附近,以25次測量數據計算重復性為0.046987nm,測量穩定性良好。

              懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。


              部分技術規格

              品牌CHOTEST中圖儀器
              型號WD4000
              厚度和翹曲度測量系統
              可測材料砷化鎵 ;氮化鎵 ;磷化 鎵;鍺;磷化銦;鈮酸鋰;藍寶石;硅 ;碳化硅 ;玻璃等
              測量范圍150μm~2000μm
              掃描方式Fullmap面掃、米字、自由多點
              測量參數厚度、TTV(總體厚度變 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、線粗糙度
              三維顯微形貌測量系統
              測量原理白光干涉
              干涉物鏡10X(2.5X、5X、20X、50X,可選多個)
              可測樣品反射率0.05%~100
              粗糙度RMS重復性0.005nm
              測量參數顯微形貌 、線/面粗糙度、空間頻率等三大類300余種參數
              膜厚測量系統
              測量范圍90um(n= 1.5)
              景深1200um
              最小可測厚度0.4um
              紅外干涉測量系統
              光源SLED
              測量范圍37-1850um
              晶圓尺寸4"、6"、8"、12"
              晶圓載臺防靜電鏤空真空吸盤載臺
              X/Y/Z工作臺行程400mm/400mm/75mm
              如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。


              產品咨詢

              留言框

              • 產品:

              • 您的單位:

              • 您的姓名:

              • 聯系電話:

              • 常用郵箱:

              • 省份:

              • 詳細地址:

              • 補充說明:

              • 驗證碼:

                請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
              掃一掃,關注微信

              版權所有 © 2024 深圳市中圖儀器股份有限公司 All Rights Reserved    備案號:粵ICP備12000520號    sitemap.xml    管理登陸    技術支持:化工儀器網
              史上最爽乱婬视频免费看,含羞草影院在线入口免费观看网站,一级A片无码高潮,91成人爽a毛片免费网站,国产一级婬片AV免费水蜜桃,AV无码成人精品国产,久久久久Av免费无码久久,香港成人A片免费观看