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              高精度薄膜厚度測量儀

              簡要描述:線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。

              • 更新時間:2024-03-22
              • 產品型號:CP200
              • 廠商性質:生產廠家
              • 訪  問  量:157

              詳細介紹

              品牌CHOTEST/中圖儀器價格區間面議
              產地類別國產應用領域能源,電子,綜合

              中圖儀器CP系列高精度薄膜厚度測量儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。它是利用光學干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優點。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。

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              CP系列高精度薄膜厚度測量儀采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導電薄膜厚度的測量上具有很強的優勢。針對測量ITO導電薄膜的應用場景,CP200臺階儀提供如下便捷功能:

              1)結合了360°旋轉臺的全電動載物臺,能夠快速定位到測量標志位;

              2)對于批量樣件,提供自定義多區域測量功能,實現一鍵多點位測量;

              3)提供SPC統計分析功能,直觀分析測量數值變化趨勢;

              圖片4.jpg

              參數測量功能

              1.臺階高度:能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料;

              2.粗糙度與波紋度:能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,可獲取粗糙度與波紋度相關的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項參數;

              3.翹曲與形狀:能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲,如在半導體晶圓制造過程中,因多層沉積層結構中層間不匹配所產生的翹曲或形狀變化,或者類似透鏡在內的結構高度和曲率半徑。

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              產品特性

              1.出色的重復性和再現性,滿足被測件測量精度要求

              線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

              2.超微力恒力傳感器:(1-50)mg可調

              測力恒定可調,以適應硬質或軟質材料表面。超低慣量設計和微小電磁力控制,實現無接觸損傷的精準接觸式測量。

              3.超平掃描平臺

              系統配有超高直線度導軌,杜絕運動中的細微抖動,提高掃描精度,真實反映工件微小形貌。

              4.頂視光學導航系統,5MP超高分辨率彩色相機

              5.全自動XY載物臺, Z軸自動升降、360°全自動θ轉臺

              6.強大的數據采集和分析系統

              臺階儀軟件包含多個模塊,為對不同被測件的高度測量及分析評價提供充分支持。


              典型應用

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              部分技術參數

              型號CP200
              測量技術探針式表面輪廓測量技術
              探針傳感器超低慣量,LVDC傳感器
              平臺移動范圍X/Y電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平)
              樣品R-θ載物臺電動,360°連續旋轉
              單次掃描長度55mm
              樣品厚度
              50mm
              載物臺晶圓尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
              尺寸(L×W×H)mm640*626*534
              重量40kg
              儀器電源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

              使用環境

              相對濕度:濕度 (無凝結)30-40% RH

              溫度:16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

              地面振動:6.35μm/s(1-100Hz)

              音頻噪音:≤80dB

              空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動)

              懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

              如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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